ການຈັດປະເພດຕົ້ນຕໍຂອງ sensors:
ໂດຍຈຸດປະສົງ
ເຊັນເຊີທີ່ລະອຽດອ່ອນຂອງຄວາມກົດດັນແລະບັງຄັບ, ເຊັນເຊີຕໍາແຫນ່ງ, ເຊັນເຊີລະດັບ, ເຊັນເຊີພະລັງງານ, ເຊັນເຊີຄວາມໄວ, ເຊັນເຊີເລັ່ງ, ເຊັນເຊີລັງສີ, ເຊັນເຊີຄວາມຮ້ອນ.
ໂດຍຫຼັກການ
ເຊັນເຊີການສັ່ນສະເທືອນ, ເຊັນເຊີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ເຊັນເຊີແມ່ເຫຼັກ, ເຊັນເຊີອາຍແກັສ, ເຊັນເຊີສູນຍາກາດ, biosensor, ແລະອື່ນໆ.
ກົດອອກສັນຍານ
ເຊັນເຊີອະນາລັອກ: ປ່ຽນປະລິມານທີ່ບໍ່ແມ່ນໄຟຟ້າທີ່ວັດແທກເປັນສັນຍານໄຟຟ້າແບບອະນາລັອກ.
ເຊັນເຊີດິຈິຕອນ: ປ່ຽນປະລິມານທີ່ບໍ່ແມ່ນໄຟຟ້າທີ່ວັດແທກເປັນສັນຍານຜົນຜະລິດດິຈິຕອນ (ທັງທາງກົງແລະທາງອ້ອມ).
ເຊັນເຊີດິຈິຕອນ: ປ່ຽນ semaphore ທີ່ວັດແທກເປັນຜົນຜະລິດຂອງສັນຍານຄວາມຖີ່ຫຼືສັນຍານວົງຈອນສັ້ນ (ລວມທັງການແປງໂດຍກົງຫຼືທາງອ້ອມ).
ເຊັນເຊີສະວິດ: ເມື່ອສັນຍານທີ່ວັດແທກໄດ້ເຖິງເກນທີ່ແນ່ນອນ, ເຊັນເຊີຈະສົ່ງສັນຍານທີ່ຕັ້ງໄວ້ຕໍ່າ ຫຼືສູງຕາມຄວາມເໝາະສົມ.
ໂດຍຂະບວນການຜະລິດ
ເຊັນເຊີປະສົມປະສານແມ່ນ fabricated ໂດຍນໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີຂະບວນການມາດຕະຖານສໍາລັບການຜະລິດຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານ semiconductor ຊິລິຄອນ.
ບາງສ່ວນຂອງວົງຈອນທີ່ໃຊ້ໃນການປະມວນຜົນສັນຍານເບື້ອງຕົ້ນພາຍໃຕ້ການທົດສອບແມ່ນຍັງປະສົມປະສານໂດຍປົກກະຕິຢູ່ໃນຊິບດຽວກັນ.
ເຊັນເຊີຟິມບາງໆຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໂດຍຮູບເງົາຂອງວັດສະດຸທີ່ລະອຽດອ່ອນທີ່ສອດຄ້ອງກັນທີ່ຝາກໄວ້ໃນຊັ້ນຍ່ອຍ dielectric (ຊັ້ນໃຕ້ດິນ). ໃນເວລາທີ່ຂະບວນການປະສົມຖືກນໍາໃຊ້, ບາງສ່ວນຂອງວົງຈອນຍັງສາມາດ fabricated ສຸດ substrate ນີ້.
ເຊັນເຊີຟິມຫນາແມ່ນເຮັດໂດຍການເຄືອບ slurry ຂອງວັດສະດຸທີ່ສອດຄ້ອງກັນຢູ່ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນຂອງເຊລາມິກ, ເຊິ່ງປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດດ້ວຍ Al2O3, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນໄດ້ຮັບຄວາມຮ້ອນເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາຫນາ.
ເຊັນເຊີເຊລາມິກແມ່ນຜະລິດໂດຍໃຊ້ຂະບວນການເຊລາມິກມາດຕະຖານຫຼືບາງການປ່ຽນແປງຂອງມັນ (sol, gel, ແລະອື່ນໆ).
ຫຼັງຈາກການປະຕິບັດການກະກຽມທີ່ເຫມາະສົມແມ່ນສໍາເລັດ, ອົງປະກອບທີ່ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນແມ່ນ sintered ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ. ມີລັກສະນະທົ່ວໄປຫຼາຍລະຫວ່າງສອງຂະບວນການຂອງຟິມຫນາແລະເຊັນເຊີເຊລາມິກ. ໃນບາງດ້ານ, ຂະບວນການຟິມຫນາສາມາດຖືກພິຈາລະນາເປັນຕົວແປຂອງຂະບວນການເຊລາມິກ.
ເຕັກໂນໂລຊີຂະບວນການແຕ່ລະຄົນມີຂໍ້ດີແລະຂໍ້ເສຍຂອງຕົນເອງ. ເຊັນເຊີຮູບເງົາເຊລາມິກແລະຫນາແມ່ນສົມເຫດສົມຜົນຫຼາຍເນື່ອງຈາກ