ຂ່າວ

ຜະລິດຕະພັນທີ່ໂດດເດັ່ນ

ຂ່າວອຸດສາຫະກໍາ

Lasers ສໍາລັບ Lithography

2021-12-02

ເລເຊີສໍາລັບ Lithography

Lithography ແມ່ນເຕັກນິກການຖ່າຍທອດຮູບແບບທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍກົງຫຼືຜ່ານສື່ກາງໃສ່ພື້ນຜິວທີ່ຮາບພຽງ, ຍົກເວັ້ນພື້ນທີ່ຂອງພື້ນຜິວທີ່ບໍ່ຕ້ອງການຮູບແບບ.

ໃນ lithography ຫນ້າກາກ, ການອອກແບບແມ່ນພິມຢູ່ເທິງຊັ້ນຍ່ອຍແລະເປີດເຜີຍດ້ວຍ aເລເຊີເພື່ອໃຫ້ວັດສະດຸທີ່ໄດ້ຝາກມານັ້ນຖືກຂຸດອອກໄປ, ພ້ອມທີ່ຈະປຸງແຕ່ງຕື່ມອີກ. ວິທີການ lithography ນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງ wafers semiconductor.

ຄວາມສາມາດທີ່ຈະປະກອບຮູບພາບທີ່ແຫຼມຂອງລັກສະນະຂະຫນາດນ້ອຍກ່ຽວກັບ wafer ໄດ້ຖືກຈໍາກັດໂດຍ wavelength ຂອງແສງທີ່ນໍາໃຊ້. ເຄື່ອງມື lithography ທີ່ທັນສະໄຫມທີ່ສຸດໃນມື້ນີ້ໃຊ້ແສງ ultraviolet ເລິກ (DUV), ແລະໃນອະນາຄົດຄວາມຍາວຄື່ນເຫຼົ່ານີ້ຈະສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍ ultraviolet ເລິກ (193 nm), ສູນຍາກາດ ultraviolet (157 nm ແລະ 122 nm), ແລະ ultraviolet ທີ່ສຸດ (47 nm ແລະ 13 nm). ).

ຜະລິດຕະພັນທີ່ຊັບຊ້ອນແລະການປ່ຽນແປງການອອກແບບເລື້ອຍໆສໍາລັບຕະຫຼາດ IC, MEMS, ແລະຊີວະການແພດ - ບ່ອນທີ່ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບຫນ້າທີ່ຫລາກຫລາຍແລະຂະຫນາດຂອງ substrate ເພີ່ມຂຶ້ນ - ໄດ້ເພີ່ມຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດວິທີແກ້ໄຂທີ່ກໍາຫນົດເອງສູງເຫຼົ່ານີ້ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນປະລິມານການຜະລິດ. ວິທີແກ້ໄຂ lithography ທີ່ອີງໃສ່ຫນ້າກາກແບບດັ້ງເດີມແມ່ນບໍ່ປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຫຼືປະຕິບັດໄດ້ສໍາລັບຫຼາຍໆຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຫຼົ່ານີ້, ເຊິ່ງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະເວລາທີ່ຕ້ອງການໃນການອອກແບບແລະຜະລິດຊຸດຫນ້າກາກຈໍານວນຫລາຍສາມາດເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງໄວວາ.

ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ lithography ບໍ່ມີຫນ້າກາກບໍ່ໄດ້ຖືກຂັດຂວາງໂດຍຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບຄວາມຍາວຂອງຄື້ນ UV ສັ້ນທີ່ສຸດ, ແລະແທນທີ່ຈະໃຊ້.ເລເຊີແຫຼ່ງຂໍ້ມູນໃນລະດັບສີຟ້າແລະ UV.

ໃນ lithography ທີ່ບໍ່ມີຫນ້າກາກ,ເລເຊີໂດຍກົງສ້າງໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກ / ນາໂນຢູ່ດ້ານຂອງວັດສະດຸທີ່ມີແສງ. ວິທີການ lithography ທີ່ຫຼາກຫຼາຍຊະນິດນີ້ບໍ່ໄດ້ອີງໃສ່ເຄື່ອງບໍລິໂພກຫນ້າກາກແລະການປ່ຽນແປງຮູບແບບສາມາດເຮັດໄດ້ຢ່າງໄວວາ. ດັ່ງນັ້ນ, ການສ້າງແບບຈໍາລອງແລະການພັດທະນາຢ່າງໄວວາກາຍເປັນເລື່ອງທີ່ງ່າຍຂຶ້ນ, ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນໃນການອອກແບບຫຼາຍກວ່າເກົ່າ, ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມໄດ້ປຽບຂອງພື້ນທີ່ຂະຫນາດໃຫຍ່ (ເຊັ່ນ: wafers semiconductor 300mm, ຈໍສະແດງຜົນຮາບພຽງຫຼື PCBS).

ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການຜະລິດຢ່າງວ່ອງໄວ,ເລເຊີໃຊ້ສໍາລັບ lithography ບໍ່ມີຫນ້າກາກມີລັກສະນະຄ້າຍຄືກັນກັບການນໍາໃຊ້ສໍາລັບຫນ້າກາກ:

ແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງຄື້ນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງມີພະລັງງານໃນໄລຍະຍາວແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຍາວຄື້ນ, ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແຄບແລະການປ່ຽນຫນ້າກາກຂະຫນາດນ້ອຍ.
ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຊີວິດຍາວດ້ວຍການບໍາລຸງຮັກສາເລັກນ້ອຍຫຼືການຂັດຂວາງຂອງວົງຈອນການຜະລິດແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບທັງສອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ.
DPSS laser ມີເສັ້ນແຄບທີ່ຫມັ້ນຄົງ ultra-stable, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຍາວຄື້ນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງພະລັງງານ, ແລະເຫມາະສົມສໍາລັບສອງວິທີການ lithography.
ພວກເຮົາອອກແບບ ແລະຜະລິດເລເຊີຄວາມຖີ່ດຽວທີ່ມີພະລັງແຮງສູງ ທີ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຄວາມຍາວຄື້ນທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າໄດ້, ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແຄບ ແລະຮອຍຕີນນ້ອຍໆໃນໄລຍະຄື້ນຂອງຄວາມຍາວແຫ້ງຍາວ - ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການເຊື່ອມໂຍງກັບລະບົບທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ.

ທີ່ຜ່ານມາ:

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ Fiber Random Laser ໃນການຮັບຮູ້ການແຈກຢາຍ

ຕໍ່ໄປ:

ການນໍາໃຊ້ຂອງ Fiber Random Laser ໃນການຮັບຮູ້ຈຸດທາງໄກ Ultra

ຂ່າວ

ຜະລິດຕະພັນທີ່ໂດດເດັ່ນ

1064nm Ytterbium-doped Fiber Amplifier YDFA

850nm 10mW Superluminescent Diode sld diode

ພະລັງງານສູງ 976nm 600mW SM FBG Stabilized Pump Laser ສໍາລັບ EDFA

ພະລັງງານສູງ 1550nm Nanosecond Pulsed Fiber Laser

Lasers ສໍາລັບ Lithography

ເລເຊີສໍາລັບ Lithography

ທີ່ຜ່ານມາ:

ຕໍ່ໄປ: